Equipamento de processo de semicondutor
Ferramentas de grafite de alta pureza em semicondutores, semicondutores compostos e indústria PV
Epitaxia e MOCVD:
Para fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, a Mersen fornece equipamento de grafite ultra-puro usado para suportar substratos ou "wafers".
No centro do processo, este equipamento, receptores de epitaxia ou plataformas de satélite para o MOCVD, são primeiro submetidos ao ambiente de deposição:
- Alta temperatura.
- Alto Vácuo.
- Uso de precursores gasosos agressivos.
- Zero contaminação, ausência de peeling.
- Resistência a ácidos fortes durante operações de limpeza