Equipamento de processo de semicondutor

ultra pure graphite Mersen
MOCVD expitaxy graphite tools Mersen
fine grain graphite Mersen
semicondutor equipment Mersen

Ferramentas de grafite de alta pureza em semicondutores, semicondutores compostos e indústria PV

Epitaxia e MOCVD:

Para fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, a Mersen fornece equipamento de grafite ultra-puro usado para suportar substratos ou "wafers". 
No centro do processo, este equipamento, receptores de epitaxia ou plataformas de satélite para o MOCVD, são primeiro submetidos ao ambiente de deposição:

  • Alta temperatura.
  • Alto Vácuo.
  • Uso de precursores gasosos agressivos.
  • Zero contaminação, ausência de peeling.
  • Resistência a ácidos fortes durante operações de limpeza

 

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